由于目前的国际环境,国际大力倡导芯片的自主化,预计在未来几年,将需要数亿元的高效过滤器和精密过滤器。而半导体厂对于生产环境空气的洁净度是十分挑剔的,因此对于空气过滤器的要求也是十分苛刻。
1、芯片厂10级、1级洁净车间
主过滤器效率:ULPA超高效过滤器
常见过滤元件:无隔板ULPA超高效过滤器
特殊要求:扫描检验,流速均匀,无挥发物
作用:当今对性能要求最高的空气过滤器
2、芯片厂10级、1级洁净厂房预过滤器
主过滤器效率:HEPA高效过滤器
特殊要求:迎面风速高
作用:保证末端过滤工器的使用寿命
从以上可以看出,芯片厂空气过滤要求十分的严格,洁净度要求非常高,因此必须搭配初效、中效和高效空气过滤器使用,并且在一些要求特别的环境中还需要搭配超高效过滤器。因此我们芯片厂在选择空气过滤器的时候,主要是根据自己的需求进行设计通风,再选择不同过滤级别的空气过滤器进行搭配使用,达到生产芯片的环境要求。